ТОРОПОВ И.А.

  Изобретение относите к технологии изготовления интегральных микросхем с применением микролитографми. Цель изобретения - повышение точности совмещения. Реперный знак состоит из метки на маске в виде дифракционной решетки и метки на подложке . На подложке размещен высокоомный полупроводниковый слой 1. В нем сформированы проводящие каналы 3 в виде легированных областей. Каналы 3 под...