КОСАРЕВ ВИТАЛИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

  Изобретение относится к области неразрушающих испытаний материалов и может быть использовано для контроля малых деформаций монокристаллических пластин полупроводниковых материалов. Цель изобретения - расширение области применения способа для измерения малых деформаций. Это достигается возбуждением в пластине поперечной ультразвуковой акустической волны на частоте, превышающей поро...