РУСАЛЬСКАЯ ТАМАРА ГЕОРГИЕВНА

  Изобретение относится к производству интегральных схем. Целью изобретения является повышение качества поверхности разлома за счет снижения количества сколов и трещин. Перед скрайбированием пластину сжимают в ее плоскости перпендикулярно линии разделения и растягивают вдоль линии разделения нагрузками, определяемыми по приведенным формулам. Затем производят скрайбирование, освобожд...