PatentDB.ru — поиск по патентным документам

БАШЕВСКИЙ АЛЕКСАНДР СЕРГЕЕВИЧ

Изобретатель БАШЕВСКИЙ АЛЕКСАНДР СЕРГЕЕВИЧ является автором следующих патентов:

Способ формирования защитного слоя резиста и устройство для его осуществления

Способ формирования защитного слоя резиста и устройство для его осуществления

  Изобретение относится к способу формирования защитного слоя резиста и устройству для его осуществления и позволяет повысить качество защитного слоя путем исключения внутренних напряжений и уменьшения его дефектности. На подложку 4 наносят резистивный материал, затем нагревают подложку 4 нагревателем 9 со стороны свободной поверхности для формирования в подложке теплового фронта от...

1536347