ВИЛИСОВ ГЕННАДИЙ ТРОФИМОВИЧ

  Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть использовано для измерения электрических параметров изделий микроэлектроники. Цель изобретения - снижение погрешности измерений. Зондовое устройство опускают на полупроводниковую пластину, визуально с помощью микроскопа наводят зонд 3 на контакт. Концентрическая конусообразная спиралевидная пружина 2 прижимает зондо...