Тазенков Б.Н.

 Устройство для нанесения фотопроводниковых слоев в вакууме, содержащее вакуумную камеру, испарители, подложкодержатель и натекатель воздуха, отличающееся тем, что, с целью повышения качества селеновых слоев, оно содержит ионизатор, оптически непрозрачный экран и активатор кислорода, электрически соединенный со стенками вакуумной камеры, включающий замкнутую полость, внутри которой располо...