БЕССОНОВ ЮРИЙ ЯКОВЛЕВИЧ

  Изобретение относится к измерительным устройствам, применяемым в полупроводниковой промышленности, и может быть использовано для измерения удельного электрического сопротивления полупроводников. Целью изобретения является повышение воспроизводительности измерений. Устройство содержит электропроводящий зонд 1, держатель зонда 2, закрепленный на корпусе механизма 3 подъема и опускан...