СКРЫШЕВСКИЙ ВАЛЕРИЙ АНТОНОВИЧ

  Изобретение относится к физико-химическим методам исследования материалов, позволяющим определять распределение толщин и особенности строения тонких и сверхтонких диэлектрических и полупроводниковых слоев, например, в полупроводниковых изделиях микроэлектроники. Целью изобретения является повышение точности измерения. Это достигается тем, что расщепляют пучок излучения на параллел...