Кудрявцев Михаил Евгениевич (UA)

 Изобретение относится к области материаловедения, а более конкретно к устройствам для обработки поверхности материалов микро- и оптоэлектроники лазерными методами, и может быть применено в производстве полупроводниковых приборов. Достижение цели осуществляют тем, что в устройстве, состоящем из лазера, системы фокусирования в виде линзы и держателя образца, держатель образца выполнен в вид...

 Изобретение относится к области материаловедения и может быть применено в производстве полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: обработку поверхности материалов ведут в режиме модулированной добротности путем облучения поверхности лазерным лучом, сфокусированным в линию, длина l которой соизмерима с высотой поверхности, и сканируют им по поверхности с частотой колебания луча не в...