БЕЗСАЛЬКО РОБЕРТ МАКСИМОВИЧ

  Изобретение может быть использовано в микроэлектронике для подготовки жидких сред, используемых в производстве сверхбольших интегральных схем. Цель изобретения - повышение качества фильтрации агрессивных жидкостей с удельной плотностью более 1,5 г/см<SP POS="POST">3</SP>, повышение надежности устройства, снижение мощности на прокачку жидкости через фильтр с диаметром п...