ЗАБОЛОТНОВ ВЯЧЕСЛАВ ФЕДОРОВИЧ

  Изобретение может быть использовано в микроэлектронике для подготовки жидких сред, используемых в производстве сверхбольших интегральных схем. Цель изобретения - повышение качества фильтрации агрессивных жидкостей с удельной плотностью более 1,5 г/см<SP POS="POST">3</SP>, повышение надежности устройства, снижение мощности на прокачку жидкости через фильтр с диаметром п...

  Изобретение относится к стендам для испытания фильтрующих элементов. Применение изобретения в химической и других отраслях промышленности позволяет проводить испытания фильтрующих элементов с размером пор до 0,1 мкм и повысить безопасность работы со стендом при использовании агрессивных сред. Стенд содержит емкость 1 с фильтруемой жидкостью, насос 2, фильтрующий элемент 4 в держат...

  Изобретение относится к химии, в частности к устройствам для хранения и транспортировки жидких химических сред применяемых в технологических процессах микроэлектроники Цель изобретения - обеспечение безопасности работы с агрессивными средами Корпус затвора имеет боковую резьбовую поверхность 20 и днище, содержащее три диска 2, 3, 1, установленные один под другим В промежуточном д...

  Изобретение относится к электротехнике Цель изобретения - повышение интенсификации теплообмена путем усиления турбулизации потока. В индукционном нагревателе проточной среды в особой форме корпуса с суженной горловиной с индукционной обмоткой на ее поверхности расположены по образующим поверхности однополостного гиперболоида стержневые теплопередающие элементы. Предложен вариант...

  Изобретение относится к электротехнике . Целью изобретения является повышение эффективности нагрева химически чистых сред. В индукционном нагревателе текучей среды теплоотдающий элемент выполнен в виде герметично закрытой по торцам трубки, выполненной из монокристалла, например сапфира, к внутренней поверхности которой прилегают два телескопически связанных цилиндра. Особенности...

  Изобретение относится к измерительной технике, в частности к средствам контроля положения уровня жидкости, и может быть использовано для фиксации заданного уровня жидкости. Цель изобретения - повышение точности. Сигнализатор уровня жидкости состоит из двух чувствительных элементов спиралей из электропроводящего материала, размещенных вдоль оси диэлектрического корпуса датчика и п...

  Область применения: для сушки, чистки или травления полупроводниковых пластин. Сущность изобретения: в установке, имеющей ванну для рабочей жидкости, нагреватель , погруженный в рабочую жидкость, держатель для изделий, паровой конденсатор, дополнительно содержатся съемная крышка , герметизирующая ванну с рабочей жидкостью , управляемый клапан между держателем и поверхностью рабоч...