ПЕШИКОВ НИКОЛАЙ ДМИТРИЕВИЧ

  Изобретение может быть использовано в микроэлектронике для подготовки жидких сред, используемых в производстве сверхбольших интегральных схем. Цель изобретения - повышение качества фильтрации агрессивных жидкостей с удельной плотностью более 1,5 г/см<SP POS="POST">3</SP>, повышение надежности устройства, снижение мощности на прокачку жидкости через фильтр с диаметром п...

  Изобретение относится к химии, в частности к устройствам для хранения и транспортировки жидких химических сред применяемых в технологических процессах микроэлектроники Цель изобретения - обеспечение безопасности работы с агрессивными средами Корпус затвора имеет боковую резьбовую поверхность 20 и днище, содержащее три диска 2, 3, 1, установленные один под другим В промежуточном д...