Червяков С.М.

 Изобретение относится к измерительной технике, в частности к интегральным тензопреобразователям. Цель изобретения - повышение чувствительности. Интегральный преобразователь содержит кристалл из кремния, выполненного в виде однородной полупроводниковой пленки, нанесенной на поверхность упругого элемента. На пленке расположены девять электрических контактов и дорожки металлизации. Контакты...