БЕЛЫХ Ю.Г.

  Изобретение относится к микроэлектронике . Цель изобретения - повышение разрешающей способности фотошаблона. Фотошаблон содержит рельефную подложку , прозрачную для актиничного излучения . На выступах рельефа расположен маскирующий слой. Во впадинах рельефа, основания которых выполнены вогнутыми, размещен прозрачный материал с коэффициентом преломления большим, чем коэффициент пр...