ЛАНТРАТОВА С.С.

  Изобретение относится к области микроэлектроники. Цель изрбретения - расширение технологических возможностей способа и увеличение износостойкости фотошаблона. На стеклянную подложку в вакууме наносят двухслойное маскирующее покрытие на основе халькогенидных стеклообразных полупроводников (ХСП). Первый слой формируют из ХСП системы GexS4. я где 39 Ј х & Ы, при скорости кон...