ЖОХОВ ВЛАДИМИР ВИКТОРОВИЧ

  Изобретение может быть использовано для создания полупроводниковых приборов и обеспечивает получение слоев с идентичными параметрами на двух противоположных сторонах подложки. Устройство содержит вакуумную камеру с испарителем. Над испарителем размещены два тепловых дефлектора, соединенные с испарителем паропроводами. Между собой паропроводы соединены горизонтальной трубкой, в кот...