МАРОШЕК ГАЛИНА ЯКОВЛЕВНА

  Изобретение относится к технологии получения интегральных микросхем и обеспечивает упрощение устройства и регулирование угла наклона. Устройство включает вакуумную камеру, в которой размещен подложкодержатель. Подложкодержатель соединен со средствами вращения и наклона. Отличия устройства относятся к выполнению средства наклона, которое позволяет проводить измерения наращиваемого...

  Изобретение позволяет повысить надежность клапана за счет обеспечения самоустановки и произвольного поворота запорного диска вокруг собственной оси после каждого цикла нагружения. Внутри корпуса с проходным каналом расположен запорный диск 3, выполненный с кольцевыми ножевыми выступами 5 на торцовых поверхностях 4. Диск 3 снабжен механизмом поджатия к торцовой поверхности канала и...