СУХОРУКОВА МАРИНА ВИЛЕВНА

  Изобретение относится к полупроводниковой технике. Целью изобретения является расширение класса контролируемых объектов за счет обеспечения возможности контроля кристаллов, не обладающих естественным двулучепреломлением, в том числе кристаллов кубической симметрии. К исследуемому образцу прикладывают стационарное механическое усилие, образец зондируют поляризованным оптическим изл...