Стрелков Б.В.

 Способ измерения толщины пленок на поверхности материала подложки включает облучение поверхности оптическим излучением, перестройку длины волны излучения, регистрацию отраженного от поверхности сигнала с последующим анализом зависимости интенсивности отраженного сигнала от длины волны, характеризующей толщину пленки. Причем зависимость интенсивности отраженного сигнала от длины волны аппр...