Волк Ч.П.

 1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОСЛОЙНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ С БОКОВОЙ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ИЗОЛЯЦИЕЙ, включающий операции термического окисления, создания боковой диэлектрической изоляции, нанесения диэлектрического слоя, селективного травления диэлектрического слоя, вскрытия окон в диэлектрических слоях, легирования пассивной и активной базовой и эмиттерной областей, металлизацию, отличающ...

 Использование: изобретение относится к технологи производства интегральных схем (ИС), в частности к технологии изготовления многоуровневой металлизации в ИС. Сущность изобретения: в способе на поверхность ИС с металлизацией наносят первый диэлектрический слой диоксида кремния. Затем наносят пленкообразующий раствор и путем его отжига при нагревании со стороны подложки образуют планаризующ...

 Изобретение относится к области электронной микроскопии. Техническим результатом является повышение точности и уменьшение времени измерений линейных размеров элементов интегральных схем с помощью растровых электронных микроскопов (РЭМ). Тестовый объект для калибровки растровых электронных микроскопов выполнен в виде периодической монокристаллической кремниевой структуры с рельефной шагово...