Озерин Ю.В.

 Использование: в микроэлектронике для измерения рассовмещения топологических слоев. Сущность изобретения: создают тестовую структуру в виде наложенных линейных дифракционных решеток с одинаковым периодом, причем одна решетка создается в одном из совмещаемых слоев, а другая - в другом совмещаемом слое, освещают тестовую структуру параллельным пучком лазерного света, образуя дифракционный с...

 Изобретение относится к области электронной микроскопии. Техническим результатом является повышение точности и уменьшение времени измерений линейных размеров элементов интегральных схем с помощью растровых электронных микроскопов (РЭМ). Тестовый объект для калибровки растровых электронных микроскопов выполнен в виде периодической монокристаллической кремниевой структуры с рельефной шагово...