Анискин В.М.

 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерений характеристик газовых потоков. Датчик содержит чувствительный элемент, выполненный в виде подложки из монокристаллического полупроводникового материала трубчатой формы с наружным диаметром 0,1-100 мкм и толщиной стенки 0,001-1 мкм, на внутреннюю или наружную поверхность которой нанесен чувствительный сло...