Шкурко А.И.

 Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее подложкодержатель, испаритель в виде тигля, заслонку, установленную между испарителем и подложкодержателем, и датчик проводимости наносимого покрытия, отличающееся тем, что, с целью повышения качества пленок и повышения коэффициента использования материала покрытия, датчик проводимости установлен на заслонке со стороны испарителя, пр...