Боярина М.Ф.

 Изобретение относится к вакуумной технологии нанесения титановых покрытий. Цель изобретения - повышение сорбционных свойств покрытия. Для этого подложку 1 помещают в диапазоне телесных углов от 10 до 30o относительно точки пересечения поверхности катода 2 и его продольной оси. 1 ил. Изобретение относится к вакуумной технологии нанесения покрытий, а конкретно к технологии вакуумно-дугового...