СТОГНИЙ А.И.

  Изобретение относится к газоразрядным устройствам для получения интенсивных пучков ионов различных газов и предназначено к использованию в ионно-лучевой технологии и для научных исследований в вакууме. Целью изобретения является повышение эффективности источника ионов путем увеличения интенсивности пучка ионов в отсутствии принудительного охлаждения . Она достигается в источнике...