МИНАКОВ НИКОЛАЙ СТАНИСЛАВОВИЧ

  Изобретение относится к области автоматического контроля и управления в электронной и электротехнической промышленности и может быть использовано для управления процессом нагрева в трубчатых электропечах при изготовлении многослойных полупроводниковых структур по диффузионной технологии. Целью изобретения является повышение точности системы. Система содержит трубчатую печь 1 с сек...