ПАДАЛКО АНАТОЛИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ

  Изобретение относится к области автоматического контроля и управления в электронной и электротехнической промышленности и может быть использовано для управления процессом нагрева в трубчатых электропечах при изготовлении многослойных полупроводниковых структур по диффузионной технологии. Целью изобретения является повышение точности системы. Система содержит трубчатую печь 1 с сек...

  Изобретение относится к опреде лению расхода жидкостей и газов и позволяет расширить рабочий диапазон измеряемых расходов и повысить точность . Фиксируется отклонение поплавка от начального положения в зависимости от расхода среды, протекающей по измерительному каналу. Это отклонение преобразуется в пропорциональный электрический сигнал, который формирует противодействие, возвращ...