Гуль Т.И.

 Изобретение может быть использовано для определения чистоты поверхности подложек перед напылением на них резистивных материалов в вакууме. Цель изобретения - повышение эффективности - достигается путем выявления загрязнений в виде натиров капролона и паров масла и упрощение процесса. Подготовленные к определению чистоты поверхности подложки помещают в капсулу из керамического материала, п...

 Изобретение относится к производству элементов радиоэлектронной аппаратуры, в частности к технологии изготовления тонкопленочных резисторов. Цель изобретения - повышение воспроизводимости контроля чистоты поверхности подложек (П). На анализируемую поверхность П путем термического испарения в вакууме наносят материал, содержащий следующие компоненты, мас.%: окись кадмия 7,5; аллюминий 7,5;...