ГУСЬКОВА ИРИНА ГЕОРГИЕВНА

  Изобретение относится к вакуумной техники и может быть использовано для дозировки малых потоков газа в вакуумные системы. Цель изобретения - повышение надежности за счет увеличения точности регулирования потока напуска газа в вакуумную систему. Регулирование потока газовой смеси осуществляется сжатием сильфона 7 приводом перемещения 5, вызывающим повышение давления внутри герметич...

  Изобретение относится к технологическому оборудованию для монтажа радиоэлектронной аппаратуры в условиях особо чистых технологических сред и в вакууме. Цель изобретения - расширение эксплуатационных возможностей, а также упрощение конструкции -достигается тем, что приводы по координатам X и Y выполнены в виде двух пар параллельных трубчатых элементов эллиптического сечения, герме...