ТРАВКИН Н.Н.

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ сОциАлистичесних РЕСПУБЛИН (51) 5 С 23 С 16/18, 16/ 18, Н 05 К 3/18 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К А BTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (46) 07.05.91. Бюл. 1(17 I малек улярн»(х 11 ITl СФ )ÃМИРС Паи РИСУНОК ИСКРЫтия с минимально возможными размерами элементов на молекулярном уровне (10-40 нм и менее). При формировании покрытий толщиной в пять моносло1 ев и более рисунок создают...