Тюнькова Э.В.

 Изобретение относится к полупроводниковой технике, в частности к технологии производства полупроводниковых приборов на основе арсенида индия. Способ позволяет повысить процент выхода годных пластин из арсенида индия за счет снижения количества дефектов кроя пластин на этапе резки. Предварительно слиток арсенида индия калибруется, т.е. механически обрабатывается вся его внешняя поверхность...