БАЙГИЛЬДИН ИЛЬЯС ШАРИФУЛЛОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике, к контролю оптических толщин отдельных слоев в процессе нанесения многослойных интерференционных покрытий оптическими методами. Цель изобретения - повышение информативности за счет расширения диапазона контролируемых показателей преломления и спектрального диапазона слоев и подложки. Для этого, исходя из отношения показателей преломле...