Объедков С.И.

  Изобретение относится к газоразрядным технологическим установкам и может быть использовано для обработки материалов в вакууме. Целью изобретения является упрощение системы электропитания. Источник содержит полый катод 1 с эмиссионным каналом 2. Вспомагательная камера 4 содержит диск 6, образующий с катодом 1 кольцевую щель. Вспомогательный тлеющий разряд зажигают между анодом 8 и камерой...

 Изобретение относится к технологическим газоразрядным источникам заряженных частиц. Цель изобретения - увеличение эффективности извлечения и равномерности распределения плотности тока по сечению пучка. Источник заряженных частиц содержит катод, промежуточный электрод с отверстием, соосным с катодом, анод, эмиссионный и ускоряющий многоапертурные соосные электроды. В стенке промежуточного...