Коляденко С.Н.

 Изобретение относится к полупроводникой технике и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов на изолирующих аморфных подложках. Цель изобретения -расширение диапазона используемых разделительных диэлектриков и упрощение технологии при сохранении качества крепления на изоляторе. На пластине крепления термическим окислением либо пиролитическим разложением формируют...

  Изобретение относится к области полупроводниковой микроэлектроники и может быть использовано для создания ИС с полной диэлектрической изоляцией. Целью изобретения является сохранение окислительного свойства пористого кремния за счет снижения температуры процессов и получение заданного топологического рисунка структуры КНИ путем локальной обработки ионным пучком. Поставленная цель достига...