Ранжуров Ц.В.

 Изобретение относится к электронной технике, а именно к получению моноокиси кремния, который используется в качестве диэлектрического и изоляционного материала при изготовлении конденсаторов, триодов и других микропленочных элементов. Моноокись кремния получают восстановлением двуокиси кремния кремнием по реакции SiO2+Si=2SiO в защитной атмосфере. Процесс восстановления проводят при темпе...