КОЛЫНИНА ВАЛЕРИЯ ИЗРАИЛЕВНА

  Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности измерений и расширение диапазона измерений. Сущностью данного способа измерения удельной электрической проводимости полупроводникового материала является возможность сравнения концентрации электроактивной примеси с эталоном концентрации при использовании метода эффективного поверхностного рассеива...