ЗЕЛИМХАНОВ ХАСАН ИСРАПИЛОВИЧ

  Изобретение относится к области физических методов контроля процессов вакуумной тонкопленочной технологии и может использоваться для контроля конденсации молекулярного пучка проводящего вещества на диэлектрическую подложку. Цель изобретения - повышение чувствительности и расширение области применения на аморфные и шероховатые подложки. Для этого перед облучением подложки молекуляр...