ГАЛУЩАК МАРЬЯН АЛЕКСЕЕВИЧ

  Изобретение относится к устройствам для получения полупроводниковых материалов. Цель изобретения - поддержание постоянного давления смешанных паров компонентов. Устройство содержит обогреваемую вакуумную камеру. В камере размещен испаритель для смеси компонентов и подложка, закрепленная над испарителем и снабженная системой охлаждения. Между подложкой и испарителем установлена упр...