PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Барсукова В.А.

Изобретатель Барсукова В.А. является автором следующих патентов:

Способ создания межуровневой изоляции межсоединений больших интегральных схем

Способ создания межуровневой изоляции межсоединений больших интегральных схем

 Изобретение относится к микроэлектронике и предназначено для изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем. Цель изобретения повышение надежности межуровневой изоляции межсоединений. Способ включает следующие операции. На полупроводниковой подложке формируют первый уровень разводки. На подложку наносят полиимидную пленку. Перед нанесением пленки полиимида в него вводят бензи...

1577617