КИБАЛОВ ДМИТРИЙ СТАНИСЛАВОВИЧ

  Изобретение относится к неразрушающим методам контроля и может быть использовано для анализа полупроводниковых структур на ранних стадиях, техпроцесса. Цель изобретения - обеспечение возможности измерения наведенной фотоЭДС и относительного значения плотности обратного тока P-N-перехода. Подбирают мощность электронного зонда, обеспечивающую насыщение регистрируемого в режиме потен...