PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Комарова Т.С.

Изобретатель Комарова Т.С. является автором следующих патентов:

Способ контроля загрязнения фоторезиста микрочастицами

Способ контроля загрязнения фоторезиста микрочастицами

  Изобретение относится к контрольно - измерительной технике, в частности к оптическим способам контроля загрязненности жидких сред, и может найти применение в электронной промышленности при контроле качества фоторезистивных материалов. Цель изобретения - повышение надежности контроля за счет визуализации невидимых микрочастиц. К фоторезисту добавляют поверхностно-активное вещество алкилбе...

1579204