Комарова Т.С.
Изобретатель Комарова Т.С. является автором следующих патентов:

Способ контроля загрязнения фоторезиста микрочастицами
Изобретение относится к контрольно - измерительной технике, в частности к оптическим способам контроля загрязненности жидких сред, и может найти применение в электронной промышленности при контроле качества фоторезистивных материалов. Цель изобретения - повышение надежности контроля за счет визуализации невидимых микрочастиц. К фоторезисту добавляют поверхностно-активное вещество алкилбе...
1579204