ШЕРСТЯКОВ АНАТОЛИЙ ПАВЛОВИЧ

  Изобретение относится к технологии получения тонких полимерных пленок из фотохимически полимеризуемых материалов и может быть использовано при создании пленочных элементов радиоэлектронных схем и адгезионного подслоя для различных покрытий. Оно позволяет ускорить процесс полимеризации. Это достигается тем, что нанесенный на подложку материал облучают 3 - 10 импульсами некогерентно...