Марущенко Н.Б.

  Изобретение относится к обработке поверхностей изделий и может быть использовано в микроэлектронике. Целью изобретения является повышение качества обработки за счет улучшения однородности обработки и снижения вносимой дефектности. Сущность предлагаемого способа обработки диэлектрических мишеней состоит в том, что поверхности мишеней бомбардируют пучком положительных ионов, на эмиттирующу...