ГРИЦЕНКО КОНСТАНТИН ПЕТРОВИЧ

  Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в тонкопленочной технологии. С целью повышения качества покрытий за счет уменьшения разброса процентного соотношения компонентов, устройство снабжено камерой регулирования вязкости расплава, расположенной между бункера и камерой испарения, а камера перегрева пара заполнена частицами, инертными к испаряе...