Сарманов С.С.

 Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано при разработке технологии производства полупроводниковых приборов. Цель изобретения - увеличение срока консервации уровня углеродосодержащих загрязнений. В данном способе пластины арсенида галлия очищают от углеродосодержащих загрязнений и обрабатывают в концентрированной перекиси водорода не менее 5 мин. Затем по...