БОГОБОЯЩИЙ ВИКТОР ВЛАДИМИРОВИЧ

  Изобретение относится к области измерения параметров полупроводниковых материалов и может быть использовано для контроля удельного сопротивления пластин и слитков полии монокристаллов кремния, арсенида галлия, теллурида кадмия и т.д. Цель изобретения - повышение точности, производительности измерений в широком интервале температур, расширение диапазона измеряемых удельных сопротив...