РОГУЛИН ВЛАДИМИР ЮРЬЕВИЧ

  Изобретение относится к области измерения параметров полупроводниковых материалов и может быть использовано для контроля удельного сопротивления пластин и слитков полии монокристаллов кремния, арсенида галлия, теллурида кадмия и т.д. Цель изобретения - повышение точности, производительности измерений в широком интервале температур, расширение диапазона измеряемых удельных сопротив...

  Сущность изобретения: помещают накладные электроды на металлическую пластину . Измеряют паразитную емкость контактов и паразитную емкость между электродами. Помещают электроды на поверхности полупроводника. Подают на электроды переменное напряжение. Измеряют электрический ток на трех частотах переменного напряжения. Рассчитывают по формуле величину удельного электрического сопрот...