Зыль А.А.

 Изобретение относится к вакуумной технологии и может быть использовано для осаждения пленок при изготовлении приборов микроэлектроники, оптических покрытий, элементов интегральной оптики. Целью изобретения является расширение технологических возможностей за счет снижения температуры нагрева осаждаемого материала при обеспечении высокой степени кластеризации молекулярного пара. Сущность сп...