PatentDB.ru — поиск по патентным документам

ГИЛЯРОВА ГАЛИНА МИХАЙЛОВНА

Изобретатель ГИЛЯРОВА ГАЛИНА МИХАЙЛОВНА является автором следующих патентов:

Устройство для термической обработки полупроводниковых пластин

Устройство для термической обработки полупроводниковых пластин

  Изобретение может быть использовано в электронной промышленности и обеспечивает повышение качества термообработки за счет предотвращения осаждения продуктов реакции в загрузочном конце. Устройство содержит обогреваемый реактор с патрубком ввода парогазовой смеси. Загрузочный конец реактора размещен вне нагревателя и снабжен крышкой с теплоизоляцией. Между крышкой и нагревателем ус...

1587083