ЮНЕВИЧ Е.О.

  Изобретение относится к методам импульсной лазерной обработки полупроволняковых структур и может быть использовано в технологии изготовления полупроводниковых приборов для беэпакуумного локального изготовления контактов. Целью изобретения является уменьшение удельного сопротивления контактов, что обеспечивается облучением сформированной конфигурации электродов с помощью сканирующ...